什么是微机电系统？

MEMS是Micro Electro Mechanical Systems的缩写。它是一种与制造微型设备相关的技术，如传感器、换能器、执行器、齿轮、泵、开关等。

换句话说，MEMS是微观集成器件，是电子，电气和机械元件的组合，所有这些都使用称为微系统技术（MST）的技术协同工作以实现单个功能要求。

MEMS技术被认为是传统集成电路（IC）制造的扩展形式。传统IC制造技术（VLSI）和MEMS之间的主要区别在于，使用MEMS，您不仅可以制造电容器和电感器等电气元件，还可以制造齿轮，弹簧，横梁等机械元件。使用传统的IC技术，您只能制造导体，绝缘体，二极管和晶体管。

什么是MEMS传感器？

传感器是当今数字世界的重要组成部分之一。由于所有的计算和处理都是在数字信号上完成的，因此在模拟世界和数字电子设备之间应该有一个媒介。传感器弥合了这一差距，因为它们用于观察模拟物理参数的时间效应并产生有意义的信息（对计算机）。

传感器的现代定义有时令人困惑，但简单来说，传感器是一种包含基本传感元件的设备，这些元件感测温度或湿度等物理量并将其转换为电信号。传感器还由信号处理单元（如放大器、滤波器或 ADC）或这些元件的组合组成。

谈到MEMS传感器，如果传感器是使用MEMS技术设计和制造的，那么它被称为微加工微传感器或简称为MEMS传感器。

不同类型的MEMS传感器

MEMS技术的主要实施者之一是汽车行业。现代汽车使用大量传感器，其中大多数是基于MEMS的设备。以下是现代汽车中使用的MEMS传感器列表。

l 加速度计 – 用于电子稳定控制和安全气囊展开。

l 惯性测量单元或IMU（它们是MEMS加速度计和MEMS陀螺仪的组合） - 用于测量自动驾驶的偏航，俯仰和滚动。

l 磁力计 – 用于导航中使用的方向。

l 压力和惯性传感器 – 用于制动控制。

l 压力传感器 – 胎压监测系统。

l 气流传感器 – 进气监测。

l 燃油传感器 – 燃油液位指示器。

l 碰撞和碰撞传感器 – 碰撞检测和安全气囊展开。

l MEMS 麦克风 – 用于通信和降噪。

l 温度传感器 – 用于自动气候控制和发动机温度监控。

l 还有许多其他基于MEMS的器件适用于各种应用。

应用

MEMS传感器已经用于各种应用，如控制和搬运设备，管理机器人、汽车、夹持器等。您可以在现代喷墨打印机、彩色投影仪、显示系统、时钟和扫描设备中找到这些传感器。

MEMS技术用于制造不同的传感器，如压力、温度、振动和化学传感器。

加速度计，陀螺仪，电子罗盘等是汽车，直升机，飞机，无人机和船舶中常用的MEMS传感器。

下面提到了基于MEMS的传感器的一些应用领域：

l 汽车

l 化学和制药

l 飞机

l 工业自动化和制造

l 国防、航天和航空

l 环境与健康科学

l 计算与通信

l 消费品

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